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            凈化施工
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            安徽集成電路制造無塵車間建設(shè)特點(diǎn)與技術(shù)規(guī)范

            來源:m.qionglin.net 作者:空氣好凈化
            發(fā)布時(shí)間:2025-03-27 08:42:01點(diǎn)擊:

             一、環(huán)境控制的高標(biāo)準(zhǔn)要求

            空氣潔凈度等級(jí)
            核心光刻區(qū)需達(dá)到ISO 1級(jí)標(biāo)準(zhǔn)(每立方米≥0.1μm粒子數(shù)≤10個(gè))
            一般加工區(qū)維持ISO 3級(jí)標(biāo)準(zhǔn)(≥0.5μm粒子數(shù)≤1000個(gè)/m³)
            采用ULPA超高效過濾器(U15級(jí),過濾效率≥99.9995%)
             
            溫濕度精密控制
            溫度控制精度±0.1℃(22±0.1℃恒溫系統(tǒng))
            相對(duì)濕度控制±1%RH(45%±1%RH)
            采用三級(jí)制冷系統(tǒng)(冷水機(jī)組+精密空調(diào)+FFU溫控模塊)
            二、特殊建筑結(jié)構(gòu)要求
            防微振設(shè)計(jì)
            核心設(shè)備區(qū)振動(dòng)控制VC-D級(jí)(1-80Hz頻段≤1.5μm/s)
            采用彈簧隔振基礎(chǔ)+氣浮平臺(tái)雙重減振
            建筑結(jié)構(gòu)振動(dòng)傳遞損失≥30dB
             
            電磁屏蔽系統(tǒng)
            射頻屏蔽效能≥80dB(1MHz-10GHz)
            接地系統(tǒng)阻抗≤0.5Ω
            采用銅網(wǎng)屏蔽室+波導(dǎo)通風(fēng)窗設(shè)計(jì)
             
            三、超純介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)
            超純水系統(tǒng)
            水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn):電阻率≥18.2MΩ·cm,TOC≤1ppb
            采用雙級(jí)RO+EDI+UV氧化+終端過濾工藝
            管道系統(tǒng):316L EP級(jí)不銹鋼,電拋光處理(Ra≤0.25μm)
             
            特種氣體系統(tǒng)
            氣體純度:電子級(jí)(99.9999%以上)
            輸配系統(tǒng):雙套管檢漏設(shè)計(jì),VCR面密封連接
            配置在線純度分析儀(ppb級(jí)檢測(cè)精度)
             
            四、能耗與智能化管理
            節(jié)能設(shè)計(jì)
            熱回收系統(tǒng)(熱回收率≥70%)
            變頻控制系統(tǒng)(風(fēng)機(jī)能耗降低40%)
            采用LED潔凈照明(能耗較傳統(tǒng)燈具低60%)
             
            智能監(jiān)控系統(tǒng)
            實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)2000+個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)(包括粒子計(jì)數(shù)、分子污染等)
            大數(shù)據(jù)分析預(yù)測(cè)設(shè)備維護(hù)周期
            數(shù)字孿生技術(shù)實(shí)現(xiàn)虛擬調(diào)試
            五、特殊防護(hù)措施
            防靜電系統(tǒng)
            地面電阻1×10^6~1×10^9Ω
            工作服表面電阻≤1×10^10Ω
            離子風(fēng)機(jī)覆蓋率100%
             
            化學(xué)污染控制
            AMC(氣態(tài)分子污染)控制:酸、堿、碳?xì)浠衔锞?lt;1μg/m³
            化學(xué)過濾器效率≥95%
            廢氣處理系統(tǒng)去除率≥99%
             
            集成電路制造無塵車間建設(shè)周期通常需18-24個(gè)月,單位面積造價(jià)達(dá)3-5萬元/㎡。需通過SEMI S2/S8認(rèn)證,并建立嚴(yán)格的變更控制程序。隨著制程進(jìn)入3nm以下節(jié)點(diǎn),環(huán)境控制正向分子級(jí)潔凈度方向發(fā)展,這對(duì)車間建設(shè)提出了更高要求。
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