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            池州無塵車間
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            池州半導(dǎo)體制造車間裝修中的空氣處理與氣流組織

            來源:m.qionglin.net 作者:空氣好凈化
            發(fā)布時(shí)間:2025-03-05 09:10:38點(diǎn)擊:

             半導(dǎo)體制造車間的空氣處理與氣流組織是確保車間環(huán)境潔凈和安全的核心環(huán)節(jié)。合理的空氣處理系統(tǒng)能夠有效控制顆粒物污染,保障芯片的質(zhì)量。

            1. 空氣過濾系統(tǒng)

            半導(dǎo)體制造車間需配置高效過濾器(HEPA)或超高效過濾器(ULPA),確??諝庵械念w粒物被徹底過濾。HEPA過濾器對0.3微米顆粒的過濾效率達(dá)到99.97%,而ULPA過濾器的過濾效率更高??諝膺^濾系統(tǒng)通常包括初效、中效和高效三級過濾,確??諝鉂崈舳取?/p>

            2. 氣流組織設(shè)計(jì)

            半導(dǎo)體制造車間的氣流組織需根據(jù)生產(chǎn)流程和潔凈等級設(shè)計(jì)。通常采用上送下回的氣流方式,確??諝鈴臐崈魠^(qū)流向污染區(qū),避免交叉污染。對于高潔凈等級區(qū)域(如ISO 4級),需采用單向流設(shè)計(jì),確??諝饬鲃臃较蚬潭?。

            3. 壓差控制

            半導(dǎo)體制造車間的不同區(qū)域需保持一定的壓差,確??諝鈴臐崈魠^(qū)流向污染區(qū)。通常,潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差需≥10Pa,不同潔凈等級區(qū)域之間的壓差梯度需≥5Pa。壓差傳感器需實(shí)時(shí)監(jiān)控,確保壓差穩(wěn)定。

            4. 新風(fēng)與排風(fēng)系統(tǒng)

            半導(dǎo)體制造車間需配置獨(dú)立的新風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng),確保空氣流通。新風(fēng)系統(tǒng)需經(jīng)過高效過濾,確保進(jìn)入車間的空氣潔凈。排風(fēng)系統(tǒng)需配置高效過濾器和止回閥,防止外部污染空氣進(jìn)入。

            5. 溫濕度控制

            半導(dǎo)體制造車間的溫濕度需根據(jù)生產(chǎn)要求精確控制。通常,溫度控制在22±1℃,濕度控制在45±5%。精密空調(diào)系統(tǒng)能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測和調(diào)節(jié)溫濕度,確保環(huán)境穩(wěn)定。

            通過合理的空氣處理與氣流組織設(shè)計(jì),半導(dǎo)體制造車間能夠有效控制顆粒物污染,保障生產(chǎn)環(huán)境的安全性和潔凈度。

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