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            蚌埠無(wú)塵車間

            2000平蚌埠千級(jí)半導(dǎo)體無(wú)塵車間裝修方案分享

            來(lái)源:m.qionglin.net 作者:空氣好凈化
            發(fā)布時(shí)間:2025-06-17 11:44:07點(diǎn)擊:
                本方案嚴(yán)格遵循ISO6級(jí)(千級(jí))潔凈標(biāo)準(zhǔn),采用模塊化潔凈室結(jié)構(gòu),以灰白色調(diào)為主,搭配防靜電高架地板與金屬壁板,打造高精度半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境。
                圍護(hù)系統(tǒng):采用50mm厚金屬夾芯彩鋼板墻體,表面覆有抗靜電涂層,接縫處采用圓弧過(guò)渡設(shè)計(jì),避免積塵。天花板采用FFU(風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元)滿布布局,配合高效HEPA過(guò)濾器,確保垂直層流氣流組織,潔凈度穩(wěn)定控制在≤1,000顆粒/立方米(≥0.5μm)。
                地面系統(tǒng):鋪設(shè)3mm厚防靜電環(huán)氧樹(shù)脂自流平地坪,電阻值控制在10^6~10^9Ω,耐磨抗化學(xué)腐蝕,滿足設(shè)備移動(dòng)與靜電防護(hù)需求。
                智能化控制:集成環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng),實(shí)時(shí)顯示溫濕度、壓差及粒子濃度數(shù)據(jù),聯(lián)動(dòng)空調(diào)機(jī)組自動(dòng)調(diào)節(jié),確保工藝環(huán)境穩(wěn)定。設(shè)備區(qū)采用不銹鋼圍擋,并設(shè)置黃光防眩照明,減少光學(xué)干擾。整體設(shè)計(jì)兼顧潔凈效能、耐久性與智能化管理,滿足半導(dǎo)體制造的高標(biāo)準(zhǔn)要求。




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